您好,歡迎來到吉致電子科技有限公司官網(wǎng)!
收藏本站|在線留言|網(wǎng)站地圖

吉致電子拋光材料 源頭廠家
25年 專注CMP拋光材料研發(fā)與生產(chǎn)

訂購熱線:17706168670
熱門搜索: 阻尼布拋光墊復(fù)合拋光皮復(fù)合拋光墊粗拋皮粗拋墊
吉致電子專注金屬拋光、陶瓷拋光、半導(dǎo)體拋光、硬盤面板拋光
當(dāng)前位置:首頁» 吉致動態(tài) » 研磨液和拋光液在半導(dǎo)體芯片加工中的應(yīng)用

研磨液和拋光液在半導(dǎo)體芯片加工中的應(yīng)用

文章出處:責(zé)任編輯:人氣:-發(fā)表時間:2024-02-29 17:41【

  磨削和研磨等磨料處理是半導(dǎo)體芯片加工過程中的一項重要工藝,主要是應(yīng)用化學(xué)研磨液混配磨料的方式對半導(dǎo)體表面進(jìn)行精密加工,但是研磨會導(dǎo)致芯片表面的完整性變差。因此,保證拋光的一致性、均勻性和外表粗糙度對生產(chǎn)芯片來 說是十分重要的。研磨液和拋光液在半導(dǎo)體生產(chǎn)中都起到重要性的作用。

吉致電子研磨/拋光 半導(dǎo)體芯片的加工

一、研磨工藝與拋光工藝

研磨工藝是運用涂敷或壓嵌在研具上的磨料顆粒,經(jīng)過研具與工件在一定壓力下的相對運動對加工件表面進(jìn)行的精整加工。研磨可用于加工各種金屬和非金屬材料,工件的外形有平面,內(nèi)、外圓柱面和圓錐面,凸、凹球面,螺紋,齒面及其他型面。

拋光工藝是運用CMP化學(xué)機械或電化學(xué)的效果,利用不同磨料的拋光液slurry使工件外表粗糙度下降,獲得得鏡面、高平坦度表面的加工方法。

二,研磨/拋光工藝的差異:

拋光所到達(dá)的表面光潔度要比研磨更高,并且可以選用CMP工藝或電化學(xué)的拋光方式。而研磨只能選用機械的辦法,制備研磨液所用的磨料粒徑比拋光液更大,硬度更強。

  故而,研磨液和拋光液在半導(dǎo)體芯片加工過程中都是必不可少的。

本文由無錫吉致電子科技原創(chuàng),版權(quán)歸無錫吉致電子科技,未經(jīng)允許,不得轉(zhuǎn)載,轉(zhuǎn)載需附出處及原文鏈接。http://4ux.com.cn/

無錫吉致電子科技有限公司

聯(lián)系電話:17706168670

郵編:214000

地址:江蘇省無錫市新吳區(qū)行創(chuàng)四路19-2

相關(guān)資訊